sitMEMS First 工艺

MEMS FirstTM 是 SiTime 用于制造硅谐振器晶片的工艺。它可生产完全封装在硅材料中的、极其稳定且高持久性的超小型谐振器。由于该工艺采用标准 CMOS 晶圆代工厂工具及材料，因而其产品不仅很容易制造，而且还具有优异的质量和可靠性。此外，以大型晶圆形式生产，还可实现大批量快速量产。以下章节将更加详细地介绍 MEMS FirstTM 工艺的各个重要方面。