提高高温，超强MEMS振荡器的工业设备的性能

参考时序组件（例如谐振器和振荡器）用于工业系统中，以将信号与时钟源同步。几十年来，参考时序组件基于石英晶技术 - 以前是唯一提供高稳定性和性能的可行选项。然而，在过去的半十年中，MEMS（微电器机械系统）谐振器和振荡器通过为石英晶技术提供功能丰富，具有成本效益的替代方案来彻底改变电子行业。使用标准半导体制造实践，基于MEMS的振荡器在硅中制造。硅MEMS振荡器具有新的特点和优异的可靠性，这对于工业应用尤为重要，与石英晶技术相比，提供独特的好处。